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LynceeTec全息顯微鏡Reflection DHM

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  • 品牌名稱:LynceeTec
  • 規(guī)格型號(hào):Reflection DHM
產(chǎn)品介紹

Reflection DHM 是反射配置的全息顯微鏡。它們是測量全反射和部分反射物體的理想選擇。它們能夠處理低反射界面(反射率低至1%以下),是對(duì)各種樣品進(jìn)行準(zhǔn)確光學(xué)形貌測量的理想儀器。

性能特點(diǎn)
  • 高采集率和易用性
  • 實(shí)現(xiàn)快速常規(guī)檢查、自動(dòng)化工業(yè)質(zhì)量控制以及創(chuàng)新的研發(fā)應(yīng)用,尤其是動(dòng)態(tài)觀測
  • DHM與可選的頻閃模塊和用于MEMS分析和反射率分析的后分析軟件兼容
  • 每個(gè)DHM都可以用自己的結(jié)構(gòu)來固定,或者只作為一個(gè)頭,安裝在其他結(jié)構(gòu)或生產(chǎn)線上
  • DHM可與多種可選的電動(dòng)載物臺(tái)兼容
  • 它有能力和靈活性為您提供定制和OEM系統(tǒng)
選型指南

有三種可用配置,由波長的數(shù)量和組合定義:

R-1000系列:單激光源

R-2100系列:雙激光源

R-2200系列:三個(gè)激光源

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品:瑞士

配置:單激光源

特異性:單波長

測量模式:單波長

分辨率:亞納米

測量:實(shí)時(shí)

精度(通過在30次測量中對(duì)1個(gè)像素進(jìn)行時(shí)間標(biāo)準(zhǔn)偏差來證明):0.15 nm

垂直分辨率(定義為精度的兩倍):0.30 nm

重復(fù)性(通過在SiC參考鏡上進(jìn)行30次重復(fù)性測量的一sigma Rq值來證明):0.01 nm

垂直測量范圍(無任何掃描):連續(xù)結(jié)構(gòu)可達(dá)200μm

帶銳邊臺(tái)階的高度(取決于激光源和工作波長):max. 333 nm

產(chǎn)品參數(shù)

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