光柵技術(shù):精密測(cè)量的“利器”
光柵,簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),是一種利用光的干涉和衍射原理制成的測(cè)量工具。它的核心部件是具有密集刻線的光學(xué)元件,當(dāng)光線通過(guò)光柵時(shí),會(huì)發(fā)生衍射和干涉現(xiàn)象。光柵測(cè)量系統(tǒng)通常由標(biāo)尺光柵和指示光柵組成,標(biāo)尺光柵固定在被測(cè)物體上,指示光柵則與標(biāo)尺光柵相對(duì)移動(dòng)。當(dāng)兩者發(fā)生相對(duì)位移時(shí),會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,其移動(dòng)方向和數(shù)量與被測(cè)物體的位移量成正比。通過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件將莫爾條紋的移動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),再經(jīng)過(guò)電子電路處理,即可得到精確的位移測(cè)量值。