在半導體制造領域，納米級精度可以決定產(chǎn)品的成敗，光學濾光片起著至關重要但經(jīng)常被忽視的作用。在 Chroma Technology，我們了解光學濾光片的質(zhì)量直接影響檢測過程的準確性，并最終影響半導體的性能。
Chroma：您的半導體檢測合作伙伴
我們專門制造先進的光學濾光片，旨在滿足半導體檢測的嚴格要求，包括以下濾光片：
缺陷檢測：檢測和分類晶圓表面的缺陷對于保持半導體的質(zhì)量和性能至關重要。我們的過濾器可實現(xiàn)高精度檢測，確保最終產(chǎn)品中的缺陷最少。
基于激光的檢測：基于激光的檢測技術（包括測量熱導率和電阻）依賴于高質(zhì)量的光學濾光片。Chroma 的濾光片可確保準確可靠的測量，這對于優(yōu)化半導體性能至關重要。
材料特性：了解半導體制造中使用的材料的特性至關重要。我們的過濾器有助于詳細表征材料，提供有關材料質(zhì)量和性能的寶貴見解。
疊層精度檢測：在半導體制造中，實現(xiàn)準確的疊層精度至關重要，以確保連續(xù)層對齊。色度濾鏡可幫助您在檢測和糾正疊層偏差方面實現(xiàn)高的精度。
顆粒檢測：準確的顆粒檢測對于避免污染和確保產(chǎn)品的使用壽命和可靠性至關重要。Chroma 的過濾器旨在提高顆粒檢測系統(tǒng)的靈敏度和準確性。
亞表面檢查：利用短波紅外 (SWIR) 范圍來查看各層并發(fā)現(xiàn)隱藏的缺陷。我們的濾光片提供檢測可見光譜中看不見的問題所需的光譜性能。
雖然這些應用代表了我們在半導體檢測方面的一些核心優(yōu)勢，但我們的專業(yè)知識遠不止這些領域。無論您的半導體檢測需求是什么，我們都致力于開發(fā)專業(yè)的光學濾鏡解決方案，突破精度和性能的界限。色度濾鏡具有一系列優(yōu)勢，包括：
精確的波長選擇
在半導體檢測中，隔離和分析特定波長的光的能力對于檢測精細的細節(jié)和細微的缺陷至關重要。色度濾光片提供光線控制，其功能旨在增強您的檢測能力：
- 高傳輸率，實現(xiàn)最大信號強度
- 深度阻斷，降低噪音，提供全范圍帶外阻斷
- 陡峭邊緣，增強光譜鑒別能力
- 可定制帶寬，從超窄、一埃寬的帶寬到跨越數(shù)百納米的帶寬
這些功能可以實現(xiàn)從高度選擇性的基于激光的測量到半導體特性的廣譜分析的一切，為您提供檢查過程所需的多功能性。
光學性能
除了波長選擇之外，濾光片的整體光學性能對半導體檢測的準確性和可靠性也起著至關重要的作用。我們的濾光片經(jīng)過精心設計，可滿足并超越行業(yè)的嚴格標準：
- 高的圖像質(zhì)量，反射和透射波前失真低
- 低相位延遲，適用于偏振敏感應用
- 高耐用性，適用于苛刻的工業(yè)環(huán)境
憑借這些先進的功能，Chroma 濾光片為您的半導體檢測需求提供了堅實的基礎，使您能夠突破質(zhì)量控制、工藝優(yōu)化和材料特性方面的極限。
不同用例的濾光片選項
我們在為半導體應用創(chuàng)建濾光片方面擁有豐富的經(jīng)驗，包括：
- 單波段和多波段帶通濾光片：選擇特定波長范圍進行有針對性的檢查。
- 光束組合器和分束器：劃分光束以同時進行多路徑分析。
- 二向色鏡和多向色鏡：反射特定波長，同時傳輸其他波長。將光分成不同的波長帶。
- 長波通濾光片和短波通濾光片：通過較長或較短的波長，同時阻擋相反的波長，從而實現(xiàn)準確的光譜分離。
- 陷波抑制濾光片：阻擋特定波長，允許其他波長通過。
這些濾光片類型僅代表我們在半導體領域能力的一小部分。我們豐富的經(jīng)驗使我們能夠滿足半導體檢查和制造過程中的各種光學過濾需求。
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