FQCW266激光器采用即插即用設(shè)計(jì)，用戶無需進(jìn)行復(fù)雜的安裝和調(diào)試工作即可快速上手使用。這一設(shè)計(jì)大大縮短了激光器的部署時(shí)間，提高了工作效率。配備有控制單元，用戶可通過串行接口（RS232和USB）進(jìn)行按鈕控制或遠(yuǎn)程控制。這一功能使得用戶能夠靈活地調(diào)整激光器的參數(shù)，滿足不同的應(yīng)用需求。內(nèi)置諧振頻率轉(zhuǎn)換級，這一設(shè)計(jì)使得激光器能夠有效率地輸出固定波長為266nm的光。這一波長的光在紫外光譜范圍內(nèi)，具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值，如材料加工、科學(xué)研究等。采用專用泵浦源，確保穩(wěn)定且有效率的能量輸入，從而輸出高質(zhì)量的激光束。泵浦源的穩(wěn)定性對于激光器的長期運(yùn)行和性能表現(xiàn)至關(guān)重要。

• 通過CDA清洗，可以有效去除設(shè)備或工藝中的微小顆粒、水分、油分等污染物，實(shí)現(xiàn)高純度環(huán)境，這對于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件保護(hù)等應(yīng)用場景至關(guān)重要。
• 通過自動(dòng)化控制，可以降低晶體因頻繁移動(dòng)或操作不當(dāng)而導(dǎo)致的磨損，從而延長其使用壽命。
• 氣密外殼則能有效防止外部塵埃、雜質(zhì)或濕氣進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部，保護(hù)內(nèi)部元件不受損害，同時(shí)維持設(shè)備內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定性。
• 連續(xù)波輸出則意味著激光束能夠持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)射，適用于需要長時(shí)間穩(wěn)定輸出的應(yīng)用場景。
• 這種控制方式能夠降低因輸出功率波動(dòng)而導(dǎo)致的誤差和損害，提高設(shè)備的性能和可靠性。
• 低噪音也能夠?yàn)橛脩籼峁└邮孢m的使用體驗(yàn)。
• 在某些應(yīng)用中，如干涉測量、拉曼光譜等，單頻操作能夠提供更加準(zhǔn)確和可靠的結(jié)果。
• 低維護(hù)要求也能夠提高設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性，減少因維護(hù)不當(dāng)而導(dǎo)致的故障和損害。
• 在某些應(yīng)用中，如光學(xué)通信、激光雷達(dá)等，長相干長度能夠提供更加準(zhǔn)確和可靠的結(jié)果。

產(chǎn)地：德國

波長：266 ± 1 nm

輸出功率（可調(diào)性）：1000 mW ± 5 % (100-1000 mW)

線寬：< 300 kHz

光束傳播因子M²：< 1.3，TEM00

光束質(zhì)量 M²x（水平）：< 1.2，TEM00

光束質(zhì)量 M²y（垂直）：< 1.35，TEM00

偏振方向和純度：> 500:1，垂直

光束直徑：1.0 ± 0.2 mm

光束發(fā)散度：< 0.45 mrad

光束指向穩(wěn)定性：< 3 μrad/K，< 3 μrad/h

靜態(tài)對準(zhǔn)公差：橫向± 0.25 mm，角度 ± 2.5 mrad

光束指向穩(wěn)定性：± 200 μrad

功率穩(wěn)定性（8 小時(shí)內(nèi) 0.5 Hz）：< 0.2 % rms

強(qiáng)度噪聲（1 Hz – 100 kHz) ：< 1 % rms

強(qiáng)度噪聲 (100 kHz – 250 MHz) ：< 0.2 % rms

平均功耗（max）：< 200 W (450 W)

線路電壓：90 – 250 V AC (50-60 Hz)

通信接口：USB / RS232 / 以太網(wǎng)

安全功能：鑰匙開關(guān)、聯(lián)鎖、電動(dòng)快門

預(yù)熱時(shí)間：< 45 分鐘

晶點(diǎn)壽命（小時(shí)）：1，000

總壽命（小時(shí)）：清除 20.000 / 未清除 16.000

工作溫度（激光頭）：20 – 25 °C（無冷凝）

激光頭尺寸：143 x 325 x 739 mm³（高 x 寬 x 長）

控制單元尺寸：184 x 483 x 411 mm³（高 x 寬 x 長）

激光頭重量：36 千克

控制器單元重量：12 千克

晶圓檢測