FQCW266系列激光器在單模操作模式下,能夠在266納米波長(zhǎng)下提供高達(dá)1瓦特的功率輸出。這一特性使得該激光器在需要高能量密度的應(yīng)用中表現(xiàn)優(yōu)良。激光器可以以標(biāo)稱輸出功率的10%至110%運(yùn)行,即實(shí)際輸出功率在1毫瓦至11毫瓦之間,且步長(zhǎng)可達(dá)0.1毫瓦。這種精細(xì)的功率調(diào)節(jié)能力,為用戶提供了很大的靈活性。相干長(zhǎng)度超過1000米,這意味著該激光器在光學(xué)干涉、全息術(shù)等應(yīng)用中具有良好的表現(xiàn)。激光器的線寬小于300千赫茲,這對(duì)于需要高光譜純度的應(yīng)用來說至關(guān)重要。盡管輸出功率高達(dá)1瓦特,但FQCW266系列激光器的功耗卻低于200瓦特,平均功耗僅為100瓦特。這種低功耗設(shè)計(jì)使得該激光器在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中更加節(jié)能。
產(chǎn)地:德國
波長(zhǎng):266 ± 1 nm
輸出功率(可調(diào)性):500 mW ± 5 % (50-500 mW)
線寬:< 300 kHz
光束傳播因子M²:< 1.3,TEM00
光束質(zhì)量 M²x(水平):< 1.2,TEM00
光束質(zhì)量 M²y(垂直):< 1.35,TEM00
偏振方向和純度:> 500:1,垂直
光束直徑:1.0 ± 0.2 mm
光束發(fā)散度:< 0.45 mrad
光束指向穩(wěn)定性:< 3 μrad/K,< 3 μrad/h
靜態(tài)對(duì)準(zhǔn)公差:橫向± 0.25 mm,角度 ± 2.5 mrad
光束指向穩(wěn)定性:± 200 μrad
功率穩(wěn)定性(8 小時(shí)內(nèi) 0.5 Hz):< 0.2 % rms
強(qiáng)度噪聲(1 Hz – 100 kHz) :< 1 % rms
強(qiáng)度噪聲 (100 kHz – 250 MHz) :< 0.2 % rms
平均功耗(max):< 200 W (450 W)
線路電壓:90 – 250 V AC (50-60 Hz)
通信接口:USB / RS232 / 以太網(wǎng)
安全功能:鑰匙開關(guān)、聯(lián)鎖、電動(dòng)快門
預(yù)熱時(shí)間:< 45 分鐘
晶點(diǎn)壽命(小時(shí)):清除 1.500 / 未清除 1.000
總壽命(小時(shí)):清除 20.000 / 未清除 16.000
工作溫度(激光頭):20 – 25 °C(無冷凝)
激光頭尺寸:143 x 325 x 739 mm³(高 x 寬 x 長(zhǎng))
控制單元尺寸:184 x 483 x 411 mm³(高 x 寬 x 長(zhǎng))
激光頭重量:36 千克
控制器單元重量:12 千克
晶圓檢測(cè)