FQCW266 系列 DPSS-CW D UV 激光器在單模操作下可在 266 nm 下提供高達(dá) 1 W 的功率。與其他 266 nm 的 CW 激光器相比，F(xiàn)QCW266 系統(tǒng)具有超過(guò) 1000 m 的長(zhǎng)相干長(zhǎng)度、窄線寬（<300 kHz），功耗低于 200 W（平均 100 W）。中心波長(zhǎng)在空氣中可在 266.020 nm 和 266.070 nm 之間變化。波長(zhǎng)針對(duì)激光介質(zhì)的增益值（max）進(jìn)行了優(yōu)化。通常，abs.波長(zhǎng)設(shè)置為 266.050 nm +/- 0.003 nm（空氣）。對(duì)于所有型號(hào)，激光器都可以以標(biāo)稱輸出功率的 10% 至 110% 運(yùn)行（即 1 mW ...11 mW，步長(zhǎng)為 0.1 mW）?？刂仆ㄟ^(guò)軟件進(jìn)行。密封外殼使激光器相對(duì)免維護(hù)，特別適合工業(yè)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。

FQCW266 具有諧振頻率轉(zhuǎn)換級(jí)，使用專用泵浦源發(fā)射固定波長(zhǎng) 266 nm 的光。激光頭密封在鋁制外殼中，可在各種環(huán)境條件下工作。激光頭的散熱通過(guò)空氣冷卻實(shí)現(xiàn) - 無(wú)需其他設(shè)備（冷卻器、風(fēng)扇等）。

FQCW-266 即插即用激光器配有控制單元，可通過(guò)串行接口（RS232 和 USB）進(jìn)行按鈕控制或遠(yuǎn)程控制。激光器提供好的光束特性，M² <1.3，光束發(fā)散度 <0.8 mrad（全角），噪音低于 0.5 %rms（100 kHz-10 MHz），功率穩(wěn)定性高（8 小時(shí)內(nèi) <1%）。FQCW266 是一款緊湊型固態(tài)激光器，外殼經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，可完全實(shí)現(xiàn)免提操作。

• 通過(guò) CDA 清洗實(shí)現(xiàn)高純度
• 自動(dòng)晶體移位器可更大程度延長(zhǎng)使用壽命
• 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和氣密外殼
• 具有好的光束特性的連續(xù)波
• 閉環(huán)操作可控制和調(diào)整輸出功率
• 低噪音
• 單頻操作
• 低維護(hù)要求
• 長(zhǎng)相干長(zhǎng)度

產(chǎn)地：德國(guó)

波長(zhǎng)：266 ± 1 nm

輸出功率（可調(diào)性）：300 mW ± 5 % (30-300 mW)

線寬：< 300 kHz

光束傳播因子：M² < 1.3，TEM00

光束質(zhì)量 M²x（水平）：< 1.2，TEM00

光束質(zhì)量 M²y（垂直）：< 1.35，TEM00

偏振方向和純度：> 500:1，垂直

光束直徑：1.0 ± 0.2 mm

光束發(fā)散度：< 0.45 mrad

光束指向穩(wěn)定性：< 3 μrad/K，< 3 μrad/h

靜態(tài)對(duì)準(zhǔn)公差：橫向± 0.25 mm，角度 ± 2.5 mrad

光束指向穩(wěn)定性：± 200 μrad

功率穩(wěn)定性（8 小時(shí)內(nèi) 0.5 Hz）：< 0.2 % rms

強(qiáng)度噪聲（1 Hz – 100 kHz) ：< 1 % rms

強(qiáng)度噪聲 (100 kHz – 250 MHz) ：< 0.2 % rms

平均功耗（max）：< 200 W (450 W)

線路電壓：90 – 250 V AC (50-60 Hz)

通信接口：USB / RS232 / 以太網(wǎng)

安全功能：鑰匙開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖、電動(dòng)快門

預(yù)熱時(shí)間：< 45 分鐘

晶點(diǎn)壽命（小時(shí)）：清除 1.500 / 未清除 1.000

總壽命（小時(shí)）：清除 20.000 / 未清除 16.000

工作溫度（激光頭）：20 – 25 °C（無(wú)冷凝）

激光頭尺寸：143 x 325 x 739 mm³（高 x 寬 x 長(zhǎng)）

控制單元尺寸：184 x 483 x 411 mm³（高 x 寬 x 長(zhǎng)）

激光頭重量：36 千克

控制器單元重量：12 千克

晶圓檢測(cè)