Compiler HPRR 是一款 14 kHz 皮秒激光器。這是 Compiler 系列激光器中先進的版本。無光纖耦合。該型號可用于多種應用,尤其是晶圓切割、微加工和納米加工、半導體劃線、遙感。
產(chǎn)地:加拿大
波長:1064 nm 532 nm 355 nm(可選)266 nm(可選)
能量輸出(14 kHz 時):>65 µJ 35 µJ 15 µJ 10 µJ
脈沖寬度(1064 nm 時):8 ps 7 ps 6 ps 5 ps
重復率:14 kHz 工廠固定
Q 開關(guān):被動
光束質(zhì)量:衍射受限
光束輪廓:TEMoo 高斯
脈沖間標準偏差:3% @1064 nm 可選
輸出光束指向穩(wěn)定性(標準偏差,1 小時):~0.5 衍射極限
外部控制:TTL 觸發(fā)輸入端口連接器(4 +/-1V,1 kΩ)
電功率:~ 100-240VAC,47-63 Hz,單相
功耗:<300 W
預熱時間:少于 5分鐘
工作溫度和濕度:18-25 ℃;10-85 %
微加工(晶圓、太陽能電池板、玻璃和金屬加工,精度達到幾微米)
光掩模制作和修復
紫外和時間分辨光譜法、單光子和雙光子 LIF
遠程和遙感
激光燒蝕、碎裂和破壞