SMEM 系列掃描雙軸(tip傾斜)和單軸傾斜 MEMS 鏡具有二維和一維光束轉(zhuǎn)向功能。SMEMS 掃描速度更快、功耗低、精度高、重復(fù)性好。MEMS 由單晶硅制成,鏡面平整光滑,表面鍍有高折射率金薄膜。SMEM 采用密封包裝,并配有光學(xué)窗口,可連續(xù)工作 25 年。為方便評估,還提供驅(qū)動電路板。
產(chǎn)地:美國
鏡面直徑:0.6...2 mm
工作波長:450...2600 nm
反射率(1260-1660 nm):95...96%
傾斜角度
0.6mm@60V:± 2.2...± 2.7 度
1.5mm@67V:±6.8...±7.6 度
2.0mm@200V:±5.9...±6.2 度
損壞電壓
0.6mm:70 V
1.5mm:702 V
2mm X 軸:220 V
2mm Y 軸:100 V
響應(yīng)時間:max.10 ms
光功率處理:500 mW
耐久性:1010 周期
器件電阻:2 MOhm
功耗:0.5 mW
工作溫度:-40...75 °C
存儲溫度:-40...85 °C
可靠性:Telcordia 1209 和 1221
封裝泄漏率:<10-9 Pa.m3/s
光學(xué)設(shè)備
傳感器
儀器儀表