蜜芽国产成人精品区,国产日韩亚洲大尺度高清,国产国产精品人在线观看,AV无码AV天天AV天天爽

ABeam Technologies載物臺(tái)XENOS XeMove

237 閱讀
產(chǎn)品介紹

XENOS XeMove載物臺(tái)使用先進(jìn)的激光測量系統(tǒng)和超聲波壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)，結(jié)合我們的光刻系統(tǒng)（測量分辨率為10nm），可獲得優(yōu)于100nm的縫合和覆蓋精度。

XeMove：電子束光刻平臺(tái)

緊湊的設(shè)計(jì)允許用作子階段或更換階段，只需要電氣室饋通。所有組件都是高真空兼容且完全非鐵磁的。緊湊的設(shè)計(jì)包括激光測量系統(tǒng)和壓電驅(qū)動(dòng)部件。軸上測量將偏航誤差的影響降至更低。行程范圍從55毫米到120毫米不等。

性能特點(diǎn)
  • 集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中不需要復(fù)雜且昂貴的腔室修改。
  • 測量系統(tǒng)不需要激光視口，載物臺(tái)電機(jī)不需要機(jī)械饋通，所有有源部件都放置在真空室內(nèi)，并通過標(biāo)準(zhǔn)電氣饋通進(jìn)行電子控制。
  • 對(duì)于某些腔室設(shè)計(jì)（例如JEOL JSM-7xxx），載物臺(tái)可以通過負(fù)載鎖插入，并通過腔室內(nèi)的特殊電ZIF觸點(diǎn)連接。
  • 當(dāng)平臺(tái)停止時(shí)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)斷電，位置被機(jī)械鎖定，從而將總功耗降至更低，防止加熱和相關(guān)漂移。
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：美國

類型：電子束光刻平臺(tái)

測量分辨率：10nm

行程范圍：55mm到120mm

縫合精度：優(yōu)于100nm

覆蓋精度：優(yōu)于100nm

激光視口：不需要

機(jī)械饋通：不需要

觸點(diǎn)連接：ZIF

兼容：高真空

組件：非鐵磁

部件驅(qū)動(dòng)：壓電

產(chǎn)品參數(shù)

相關(guān)產(chǎn)品