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產品介紹
ResMap Model 178已成為成本效益電阻率測量的行業(yè)標準。該四點探針旨在滿足工藝開發(fā)和工具表征工程師的需求，具有所需的準確性、可重復性和可靠性。其龐大的安裝基礎證明了其性能、易用性和低擁有成本。
CDE的成立旨在為半導體及相關行業(yè)開發(fā)和制造高性能、高性價比的晶圓計量工具。CDE ResMap是一系列適用于各種應用的自動電阻率測繪系統(tǒng)。4點探針測量工具是一種儀器，用于測量導電介質（通常是半導體應用的薄膜）中的薄層電阻（或Rs）。
性能特點
- 準確性
- 可重復性
- 可靠性
技術參數(shù)
- 晶片處理：手動裝載
- 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
- 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
- 典型測量時間：每個站點1秒
- max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個站點）
- 測量范圍：2米?/-5米?/（可以優(yōu)化到1米?/）
- 重復性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態(tài)或Rs-pack）；≤±0.1%（動態(tài)近點）
- 精度：使用NIST traceableResCal標準≤±0.5%
- min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
- 交流電源：100V至240V<10 KVA
- 產地：美國
產品參數(shù)
津公網安備12010102000950號