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PIEZOSYSTEM JENA旋轉(zhuǎn)平臺(tái)ROTOR 10

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產(chǎn)品介紹

開/閉環(huán)旋轉(zhuǎn)行程11/9 mrad

開/閉環(huán)0.2 / 0.02µrad分辨率

高平面行為

定義明確的旋轉(zhuǎn)中心軸

中心孔徑直徑3mm

溫度補(bǔ)償

ROTOR 10是一軸高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。它提供高達(dá)11µmrad的長(zhǎng)轉(zhuǎn)向和掃描范圍。定義明確的旋轉(zhuǎn)軸位于中心。中心孔也允許軸向光束應(yīng)用。由于這些平臺(tái)的FEA優(yōu)化，您可以達(dá)到更高的動(dòng)力學(xué)性能和較高的平面引導(dǎo)精度。即使在緊湊的設(shè)計(jì)中也可以承受高質(zhì)量負(fù)載。優(yōu)化還結(jié)合了出色的溫度補(bǔ)償特性。固態(tài)撓性鉸鏈的精密整體式導(dǎo)向設(shè)計(jì)意味著該軌跡沒有機(jī)械游隙和摩擦力-所有壓電系統(tǒng)耶納級(jí)位移臺(tái)都具有這一功能。ROTOR 10也可與應(yīng)變儀測(cè)量系統(tǒng)一起使用。

產(chǎn)品參數(shù)

開環(huán)運(yùn)動(dòng)（±10）：11 mrad

電容：2.8 µF

解析度：開環(huán)0.02 µrad

共振頻率：500 Hz

附加負(fù)載50 g：250 Hz

附加負(fù)載100 g：200 Hz

附加負(fù)載300 g：100 Hz

剛度：0.06 Nm/µrad

負(fù)載：<50 N

旋轉(zhuǎn)誤差ΘX/ΘY：35/35µrad

尺寸l x h x d：42 x 23 x 42 mm

中心孔徑：3 mm

電壓范圍：-20…+130 V

連接器：電壓ODU 3針

材料：不銹鋼/陽(yáng)極氧化鋁

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