美國Inprentus Inc利用專有的納米級接觸模式光刻技術(shù)制造光學器件。Inprentus 設(shè)計、制造和銷售用于同步輻射設(shè)施、半導體制造和增強現(xiàn)實(AR)波導的衍射光柵。全球財富 500 強企業(yè)、學術(shù)機構(gòu)和政府實驗室都在使用 Inprentus 的衍射光柵,用于各種科學和商業(yè)應(yīng)用。Inprentus公司由伊利諾伊大學香檳分校物理學教授Peter Abbamonte于2012年6月創(chuàng)立,旨在將創(chuàng)新的雙原子顯微鏡劃線技術(shù)商業(yè)化。
這項技術(shù)是表面高精度圖案化的通用方法,適用于 X 射線和超紫外衍射光學,在這種光學中,須以 0.1 度的角度塑造特征,并在數(shù)十厘米的距離內(nèi)以納米級定位。
Inprentus主要產(chǎn)品:
衍射光柵、同步輻射光柵、輻射光柵、光譜學熾熱衍射光柵
主要型號:
EUV、VLS、FEL