摘要
斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測量儀器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。
建模任務(wù)
觀測傾斜平面
觀測柱面
觀測球面
走進(jìn)VirtualLab Fusion
VirtualLab Fusion的工作流程
設(shè)置輸入場
- 基本光源模型
使用表面構(gòu)造真實元件
定義元件的位置和方向
- LPD II:位置和方向
為非序列場追跡設(shè)置合適的通道
- 非序列場追跡的頻道設(shè)置
VirtualLab Fusion技術(shù)
文件信息
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