COMPex 50 是 COHERENT 針對(duì)高要求應(yīng)用場(chǎng)景開(kāi)發(fā)的準(zhǔn)分子激光器，其核心優(yōu)勢(shì)在于將高效光源與模塊化設(shè)計(jì)結(jié)合，兼具安裝便捷性與操作穩(wěn)定性。設(shè)備采用陶瓷預(yù)電離技術(shù)，可輸出最高 100 mJ 的脈沖能量，配合改進(jìn)的氣體處理器，顯著延長(zhǎng)氣體與光學(xué)元件的使用壽命。無(wú)論是實(shí)驗(yàn)室中的材料沉積研究，還是工業(yè)產(chǎn)線的精密加工，COMPex 50 均能通過(guò)穩(wěn)定的脈沖輸出實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制。

核心技術(shù)特性：

多波長(zhǎng)靈活性，適配全材料加工

COMPex 50 支持 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 和 351 nm 等多波長(zhǎng)選擇，覆蓋深紫外到紫外波段，可根據(jù)材料特性（如金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、聚合物等）靈活調(diào)整，實(shí)現(xiàn)從薄膜沉積到材料刻蝕的全場(chǎng)景適配。其中 193 nm 波長(zhǎng)版本為典型配置，適用于半導(dǎo)體光刻、硅片加工等精密場(chǎng)景。

高能量與穩(wěn)定性兼顧

脈沖能量：最高 100 mJ，在 50 Hz 重復(fù)頻率下可提供 4 W 平均功率，滿足大視場(chǎng)快速消融需求；

能量穩(wěn)定性：1σ 誤差≤0.75%，脈沖穩(wěn)定性（均方根值）達(dá) 75%，確保高通量加工中輸出一致性，尤其適合需要重復(fù)性的薄膜制備（如 PLD 脈沖激光沉積）；

脈沖質(zhì)量：半高全寬（FWHM）典型值 20 ns，光束尺寸 14×5 mm²，發(fā)散角 2×1 mrad²，指向穩(wěn)定性≤50 µrad，保障微米級(jí)加工精度。

智能化系統(tǒng)與易用設(shè)計(jì)

設(shè)備支持基礎(chǔ)脈沖控制與系統(tǒng)參數(shù)實(shí)時(shí)記錄，通過(guò)數(shù)字化界面實(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)溯源，便于科研數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)與工業(yè)流程優(yōu)化。水冷系統(tǒng)僅需≤5 升 / 分鐘（10-20℃），連接接口為 1/2 英寸，適配常規(guī)實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)冷卻設(shè)備，整機(jī)重量 280 公斤，尺寸 1258×375×813 mm，相比同類(lèi)產(chǎn)品更節(jié)省空間。

COMPex 50 采用緊湊的長(zhǎng)方體設(shè)計(jì)，各側(cè)面尺寸經(jīng)過(guò)優(yōu)化以適配不同安裝環(huán)境：

主體尺寸：長(zhǎng) 1258 mm× 寬 375 mm× 高 813 mm（50×15×32 英寸），適合集成到生產(chǎn)線或?qū)嶒?yàn)臺(tái)架；

細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)：服務(wù)側(cè)寬度 1256.5 mm，光束出口側(cè)厚度 30.5 mm，連接側(cè)預(yù)留接口空間，頂部與底部均設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)安裝孔位，支持多角度安裝。

應(yīng)用場(chǎng)景

脈沖激光沉積（PLD）

在氧化物薄膜、超導(dǎo)材料及納米結(jié)構(gòu)制備中，COMPex 50 的高能量脈沖可將靶材原子 / 分子沉積到基底上，形成均勻致密的薄膜，尤其適用于復(fù)雜組分材料（如鈣鈦礦、鐵電材料）的制備。薄晶圓加工與激光剝離

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的薄晶圓切割、劃片及芯片剝離工藝，193 nm 波長(zhǎng)的高能量脈沖可實(shí)現(xiàn)非接觸式加工，避免機(jī)械應(yīng)力損傷，提升晶圓良率，適用于 3D 集成、MEMS 器件等領(lǐng)域。固體取樣與元素分析（LA-ICPMS）

與電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）聯(lián)用，COMPex 50 的脈沖激光可對(duì)巖石、礦物、生物組織等固體樣品進(jìn)行微區(qū)取樣，通過(guò)高能量脈沖瞬間汽化樣品，實(shí)現(xiàn) ppm 級(jí)微量元素的精準(zhǔn)分析。

COHERENT COMPex 50 準(zhǔn)分子激光器憑借多波長(zhǎng)靈活性、高能量穩(wěn)定性及緊湊設(shè)計(jì)，成為科研機(jī)構(gòu)與工業(yè)企業(yè)的優(yōu)選方案。其核心價(jià)值不僅在于參數(shù)層面的領(lǐng)先（如≤0.75% 的能量穩(wěn)定性、20 ns 脈沖寬度），更在于將復(fù)雜的激光技術(shù)轉(zhuǎn)化為易用的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，為材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、分析檢測(cè)等領(lǐng)域提供了從研發(fā)到量產(chǎn)的全周期支持。對(duì)于追求高精度、高可靠性的用戶而言，COMPex 50 無(wú)疑是不錯(cuò)的選擇。