Wasco的UC9系列開關(guān)是一種專為低壓應(yīng)用設(shè)計(jì)的超高純度和耐腐蝕開關(guān)。
UC9系列開關(guān)的額定應(yīng)用周期超過(guò)2,000,000次，并提供滿足或超過(guò)SEMI F20 UHP要求的可用材料選項(xiàng)。根據(jù)SEMI F1標(biāo)準(zhǔn)，所有開關(guān)均經(jīng)過(guò)氦氣泄漏測(cè)試。此外，UC9系列開關(guān)的內(nèi)表面光潔度達(dá)到了5Ra，進(jìn)一步增強(qiáng)了其耐腐蝕性和防泄漏性能。
性能特點(diǎn)：
高精度：具有高的精度和非常小的公差，能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)和控制壓力。
長(zhǎng)壽命：額定應(yīng)用周期超過(guò) 200 萬(wàn)次，適用于長(zhǎng)期穩(wěn)定的工作環(huán)境。
符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：材料選擇滿足或超過(guò) SEMI F20 UHP 要求，并且所有開關(guān)都經(jīng)過(guò)氦泄漏測(cè)試，達(dá)到≤1x10-9 標(biāo)準(zhǔn)立方厘米 / 秒，符合半導(dǎo)體行業(yè)等對(duì)高純度和低泄漏的嚴(yán)格要求。
產(chǎn)品參數(shù)
激活點(diǎn)范圍：20 至 200 Torr（壓力abs)
復(fù)位帶：10 Torr + 啟動(dòng)點(diǎn)的 6 %（典型值）
激活點(diǎn)公差：+/- 5 Torr +2 %激活點(diǎn)（典型值）
耐壓：100 PSIG
爆破壓力：1000 PSIG Min
工藝接口：316L SS
符合標(biāo)準(zhǔn)：SEMI F20 UHP
工作溫度：-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)
非工作溫度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）
預(yù)期壽命：≥ 1,000,000 次 95B2（視應(yīng)用而定）
防護(hù)等級(jí)：IP 67（Abs配置）
泄漏率：氦氣泄漏測(cè)試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
Max額定電流：1 A
交流/直流電壓：115/ 28 V
應(yīng)用領(lǐng)域：氣箱、IGS 配氣盤、配氣系統(tǒng)、閥組箱體、蝕刻和沉積系統(tǒng)等。
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